氣體質(zhì)量流量控制器同標(biāo)準(zhǔn)控制器一樣， 能對需要較高管線壓力的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行控制響應(yīng)，可較快達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，也不會(huì)影響正常性能。。其主要特點(diǎn)有：監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力，可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用氣體編輯器確定自己的氣體組成。
       氣體質(zhì)量流量控制器的連接類型較多，可以利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT 、DeviceNet、 Profibus、 Modbus (RTU和TCP/IP)或串行通訊選項(xiàng)。因此該款儀表可以整合到多種應(yīng)用設(shè)備匯總。氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)，并且使用壽命較長。為保證對環(huán)境影響的耐受性，的MFC構(gòu)建可達(dá)到IP66等級防護(hù)。
       可用量程Z大0-5000 slpm，Z小0-10 sccm；可調(diào)比: 50:1；校準(zhǔn)精度(NIST可溯源) : +2%滿量程；可重復(fù)性: 0.2%滿 量程；標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù): 50-100ms
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