小型滑軌式PECVD系統(tǒng)本設(shè)備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用，同時該設(shè)備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
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滑軌式PECVD加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內(nèi)溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號，同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護(hù)功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護(hù)，提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。
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1、加熱系統(tǒng)
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z高溫度
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1200℃
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使用溫度
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≤1100℃
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爐膛有效尺寸
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Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。）
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爐膛材料
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氧化鋁、高溫纖維制品
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熱電偶類型
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K型熱電偶
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控溫精度
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±1℃
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控溫方式
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30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。
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加熱長度
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230mm
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恒溫長度
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100mm
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加熱原件
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電阻絲
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供電電源
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單相，220V，50Hz
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2、PE射頻電源
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功率輸出范圍
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0W~500W
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z大反射功率
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100W
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射頻輸出接口
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50 Ω, N-type, female
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功率穩(wěn)定度
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≤5W
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諧波分量
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≤-50dbc
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供電電壓
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單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ
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整機(jī)效率
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>=70%
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功率因素
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>=90%
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冷卻方式
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強(qiáng)制風(fēng)冷
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3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
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連接頭類型
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雙卡套不銹鋼接頭
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標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)
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50sccm，100sccm、500sccm（可根據(jù)用戶要求定制）
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準(zhǔn)確度
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±1.5%F.S
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線性
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±1%F.S
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重復(fù)精度
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±0.2%F.S
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響應(yīng)時間
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氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
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工作壓差范圍
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0.1～0.5 MPa
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z大壓力
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3MPa
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接口
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Φ6,1/4''
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顯示
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4位數(shù)字顯示
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工作環(huán)境溫度
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5~45高純氣體
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壓力真空表
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－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
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截止閥
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Φ6
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內(nèi)外雙拋不銹鋼管
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Φ6
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4、低真空機(jī)組
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空氣相對濕度
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≤85%
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工作環(huán)境
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5℃～40℃
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工作電電壓
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220V±10% 50~60HZ
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功率
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1KW
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抽氣速率
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10m?/h
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極限真空
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5X10-1Pa
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工作壓力范圍
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1.01325X105～1.33X10-2Pa
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耐壓值
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0.03MPa
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容油量
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1.1L
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進(jìn)氣口口徑
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KF25
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排氣口口徑
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KF25
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噪音
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50dB
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連接方式
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采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連
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